カーフレスウェーハ

著者: Eugene Taylor
作成日: 15 Aug. 2021
更新日: 22 六月 2024
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定義-カーフレスウェーハとはどういう意味ですか?

カーフレスウェーハ処理とは、シリコン結晶のスラブからシリコンの非常に薄いスライス(ウェーハ)を製造するプロセスのことです。この方法により、材料の無駄が最小限に抑えられるため、高価なシリコンのコストを節約しながら高い効率が保証されます。切り口、金属の小さなチップまたは削りくずは、廃棄物として失われないため、より多くのウェーハを原料から製造できます。


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Techopediaはカーフレスウエハーについて説明します

名前が示すように、カーフレスウェーハは、生産の終わりまでに最小限の切り口がある方法です。これは、効率的な生産方法によりコストを削減できることを意味します。

切り溝なしのウェーハ処理の2つの方法が実行されます:注入とc開プロセスと応力リフトオフ法。注入とc開は、最初にシリコンにイオンを導入または注入することにより、インゴットからシリコンのcleavage開を除去する2段階のプロセスです。ストレスリフトオフプロセスは、薄膜とシリコンの界面にストレスを加えてから、細いワイヤを使用してウェーハを切断することにより、シリコンをリフトオフします。